ITO靶材（90:10、97:3）

有兼顾薄膜方阻和透过率，溅射稳定，不易结瘤

空穴传输层靶材

NiOx:X靶，配方多元化设计，可匹配直流和射频电源，改善靶表面结瘤状况

电极金属化靶材

铜靶（高纯无氧铜，氧含量低，晶粒尺寸小）、铜镍靶（有效改善Cu与TCO薄膜的附着力）、钼合金靶（对铜原子、···

TCOM无铟靶材

有效降低靶材成本，薄膜近红外区透过率高

PRD-PED靶材

ICO（迁移率150+cm2/(V·s)）、IWO、IZO、AZO、SnOx小圆柱靶

OMHT超高迁移率靶材（99:1···

迁移率120+cm2/(V·s)，薄膜方阻低，透过率高

平面NiCr

旋转SiAl, TiOx, Ti, ZnAl···